西森BST6600系列擴(kuò)散硅壓力變送器，廣泛應(yīng)用于工業(yè)自動(dòng)化設(shè)備、石油、化工、冶金、電力等控制領(lǐng)域，它是利用壓阻效應(yīng)原理，采用集成工藝技術(shù)經(jīng)過摻雜、擴(kuò)散，制成應(yīng)變電阻、構(gòu)成惠斯通電橋，利用硅材料的彈性力學(xué)特性，在同一切硅材料上進(jìn)行各向異性微加工，就制成了一個(gè)集力敏與力電轉(zhuǎn)換檢測于一體的擴(kuò)散硅傳感器。那么它在實(shí)際應(yīng)用中有哪些技術(shù)特點(diǎn)呢？

    1、精度高擴(kuò)散硅壓力傳感器的感受、敏感轉(zhuǎn)換和檢測三位一體，無機(jī)械動(dòng)件連接轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié)，所以不重復(fù)性和遲滯誤差很小。因此綜合表態(tài)精度很高。

    2、可靠性高擴(kuò)散硅敏感膜片的彈性形變量在微應(yīng)變數(shù)量級(jí)，膜片最大位移量在來微米數(shù)量級(jí)，且無機(jī)械磨損，無疲勞，無老化。平均無故障時(shí)間長，性能穩(wěn)定，可靠性高。

    3、靈敏度高擴(kuò)散硅敏感電阻的靈敏因子比金屬應(yīng)變片高50~80倍，它的滿量程信號(hào)輸出在80-100mv左右。對(duì)接囗電路適配性好，應(yīng)用成本相應(yīng)較低。由于它輸入激勵(lì)電壓低，輸出信號(hào)大，且無機(jī)械動(dòng)件損耗，因而分辯率極高。

    4、頻響高由于敏感膜片硅材料的本身固有頻率高，一般在50KC。制造過程采用了集成工藝，膜片的有效面積可以很小，配以剛性結(jié)構(gòu)前置安裝特殊設(shè)計(jì)，使傳感器頻率響應(yīng)很高，使用帶寬可達(dá)零頻至100千赫茲。

    5、度性能好隨著集成工藝技術(shù)進(jìn)步，擴(kuò)散硅敏感膜的四個(gè)電阻一致性得到進(jìn)一步提高，原始的手工補(bǔ)償已被激光調(diào)阻、計(jì)算機(jī)自動(dòng)休整技術(shù)所替代，傳感器的零位和靈敏度溫度系數(shù)已達(dá)10-5/℃數(shù)量級(jí)，工作溫度也大幅度提高。

    6、擴(kuò)散硅壓力變送器的抗電擊穿性能好由于采用了特殊材料和裝配工藝，擴(kuò)散硅傳感器不但可以做到130℃正常使用，在強(qiáng)磁場、高電壓擊穿試驗(yàn)中可抗擊1500V/AC電壓的沖擊壓力變送器。

    7、耐腐蝕性好由于擴(kuò)散硅材料本身優(yōu)良的化學(xué)防腐性能好，即使傳感器受壓面不隔離，出能在普通使用中適應(yīng)各種介質(zhì)。硅材料又與硅油有良好的兼容性，使它在采用防腐材料隔

    BST6600系列壓力變送器，采用金屬擴(kuò)散硅傳感器，金屬的延展性、精度及各方面的綜合指標(biāo)是很多其他類型傳感器無可比擬的。傳感器選用美國GE集團(tuán)NOVA公司進(jìn)口壓力傳感器或者M(jìn)ICROSENSOR公司合資壓力傳感器，產(chǎn)品由高精度傳感器和高集成化電子線路及不銹鋼外殼組成。廣泛應(yīng)用于空調(diào)設(shè)備、恒壓供水、自動(dòng)化控制、空壓機(jī)、制冷設(shè)備、水處理系統(tǒng)、液壓系統(tǒng)、工程機(jī)械、發(fā)酵罐過程檢測等。